◆◆◆◆◆　スター精密株式会社製 静電容量型3軸加速度センサACA302　◆◆◆◆◆

1) スター精密株式会社製 静電容量型3軸加速度センサACA302

　【構造】 スター精密株式会社の特許を検索することにより判明した構造を以下に示す。

　　図３のような複雑な構造であるが、錘(おもり)40が
　板状のバネ11に固定されている。バネを挟み込むよう

　に複数の電極が設けられた電極板30,31が配置され、

　バネ自体は１つの電極となっている。電極板に設けら

　れた電極との間に静電容量が存在している。

　　図８に示すように、質量ｍ[kg]の錘に加速度ａ[m/s²]

　がかかると、慣性力が働いてバネが伸び、各部の静電

　容量を変化させる仕組みとなっている。

　【欠点】

　●錘が大きく重いので、共振周波数が低くなり、応答

　速度が15[Hz]とかなり低い。

　●このように複雑な構造なので単価が高くなる。

　●繰り返し腕を振る、走るなどの運動を行い、センサ

　にストレスを与え続けたところ、破損した。錘が重い

　ため、最大許容加速度の範囲が狭いようである。